TMP-5305LMC
涡轮分子泵 · TMP-05 系列
进气口法兰：VG400 / ISO400B|排气口法兰：KF63|抽速N₂：5300 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：2250 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：仅限垂直安装.|重量：160 kg
用途：大流量刻蚀、等离子刻蚀
岛津分子泵——TMP-5305LMC TMP-05
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岛津分子泵——TMP-5305LMC TMP-05
详细信息 TMP-5305LMC涡轮分子泵 · TMP-05 系列 进气口法兰：VG400 / ISO400B|排气口法兰：KF63|抽速N₂：5300 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：2250 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：仅限垂直安装.|重量：160 kg 用途：大流量刻蚀、等离子刻蚀
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