TMP-V2304LM
涡轮分子泵 · TMP-V04 系列
进气口法兰:VG250 / ISO250B|排气口法兰:KF40|抽速N₂:2100 L/s|极限压力(烘烤后):10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量:600 mL/min|冷却方式:水冷|安装方向:任意方向|重量:56 kg
用途:薄膜沉积、PVD/CVD 镀膜

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岛津分子泵——TMP-V2304LM TMP-V04
详细信息 TMP-V2304LM涡轮分子泵 · TMP-V04 系列 进气口法兰:VG250 / ISO250B|排气口法兰:KF40|抽速N₂:2100 L/s|极限压力(烘烤后):10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量:600 mL/min|冷却方式:水冷|安装方向:任意方向|重量:56 kg 用途:薄膜沉积、PVD/CVD 镀膜
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