TMP-X1205LM
涡轮分子泵 · TMP-X05 系列
进气口法兰：VG150 / ISO160B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1080 L/s / 950 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：850 mL/min|重量：43 kg
用途：刻蚀工艺、离子注入
岛津分子泵——TMP-X1205LM TMP-X05
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岛津分子泵——TMP-X1205LM TMP-X05
详细信息 TMP-X1205LM涡轮分子泵 · TMP-X05 系列 进气口法兰：VG150 / ISO160B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1080 L/s / 950 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：850 mL/min|重量：43 kg 用途：刻蚀工艺、离子注入
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