TMP-X1605LM
涡轮分子泵 · TMP-X05 系列
进气口法兰：VG200/VG250/ISO200B/ISO250B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1400 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|重量：41 kg
用途：刻蚀工艺、离子注入
岛津分子泵——TMP-X1605LM TMP-X05
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岛津分子泵——TMP-X1605LM TMP-X05
详细信息 TMP-X1605LM涡轮分子泵 · TMP-X05 系列 进气口法兰：VG200/VG250/ISO200B/ISO250B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1400 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|重量：41 kg 用途：刻蚀工艺、离子注入
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