TMP-X3405LMC
涡轮分子泵 · TMP-X05 系列
进气口法兰：VG300 / ISO320B / VG350|排气口法兰：KF40|抽速N₂：3400 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：1300 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：89 kg
用途：刻蚀工艺、离子注入
岛津分子泵——TMP-X3405LMC TMP-X05
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岛津分子泵——TMP-X3405LMC TMP-X05
详细信息 TMP-X3405LMC涡轮分子泵 · TMP-X05 系列 进气口法兰：VG300 / ISO320B / VG350|排气口法兰：KF40|抽速N₂：3400 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：1300 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：89 kg 用途：刻蚀工艺、离子注入
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