TMP-403LMC
涡轮分子泵 · TMP-03 系列
进气口法兰：VG150 / ICF203 / ISO160B / ISO160C|排气口法兰：KF25|抽速N₂：420 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：14 kg
用途：半导体刻蚀、离子注入
岛津分子泵——TMP-403LMC TMP-03
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岛津分子泵——TMP-403LMC TMP-03
详细信息 TMP-403LMC涡轮分子泵 · TMP-03 系列 进气口法兰：VG150 / ICF203 / ISO160B / ISO160C|排气口法兰：KF25|抽速N₂：420 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：14 kg 用途：半导体刻蚀、离子注入
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