TMP-803MC
涡轮分子泵 · TMP-03 系列
进气口法兰:VG150 / ICF203 / ISO160B|排气口法兰:KF40|抽速N₂:800 L/s|极限压力(烘烤后):10⁻⁸ Pa 量级|冷却方式:风冷|安装方向:任意方向|重量:33 kg
用途:半导体刻蚀、离子注入

站内搜索
|
岛津分子泵——TMP-803MC TMP-03
详细信息 TMP-803MC涡轮分子泵 · TMP-03 系列 进气口法兰:VG150 / ICF203 / ISO160B|排气口法兰:KF40|抽速N₂:800 L/s|极限压力(烘烤后):10⁻⁸ Pa 量级|冷却方式:风冷|安装方向:任意方向|重量:33 kg 用途:半导体刻蚀、离子注入
|