TMP-1103LMPC
涡轮分子泵 · TMP-03 系列
进气口法兰：VG200 / ICF253 / ISO200B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1080 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁸ Pa 量级|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：32 kg 以下
用途：半导体刻蚀、离子注入
岛津分子泵——TMP-1103LMPC TMP-03
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岛津分子泵——TMP-1103LMPC TMP-03
详细信息 TMP-1103LMPC涡轮分子泵 · TMP-03 系列 进气口法兰：VG200 / ICF253 / ISO200B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1080 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁸ Pa 量级|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：32 kg 以下 用途：半导体刻蚀、离子注入
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