TMP-1303LM
涡轮分子泵 · TMP-03 系列
进气口法兰：VG200 / ICF253 / ISO200B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1300 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁸ Pa 量级|最大允许氩气流量：500 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：39 kg
用途：半导体刻蚀、离子注入
岛津分子泵——TMP-1303LM TMP-03
 联系方式
站内搜索 产品分类
|
岛津分子泵——TMP-1303LM TMP-03
详细信息 TMP-1303LM涡轮分子泵 · TMP-03 系列 进气口法兰：VG200 / ICF253 / ISO200B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1300 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁸ Pa 量级|最大允许氩气流量：500 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：39 kg 用途：半导体刻蚀、离子注入
|