TMP-1503LMC
涡轮分子泵 · TMP-03 系列
进气口法兰:VG250 / ICF305 / ISO250B|排气口法兰:KF40|抽速N₂:1500 L/s|极限压力(烘烤后):10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量:800 mL/min|冷却方式:水冷|安装方向:任意方向|重量:42 kg
用途:半导体刻蚀、离子注入

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岛津分子泵——TMP-1503LMC TMP-03
详细信息 TMP-1503LMC涡轮分子泵 · TMP-03 系列 进气口法兰:VG250 / ICF305 / ISO250B|排气口法兰:KF40|抽速N₂:1500 L/s|极限压力(烘烤后):10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量:800 mL/min|冷却方式:水冷|安装方向:任意方向|重量:42 kg 用途:半导体刻蚀、离子注入
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