TMP-2203LM
涡轮分子泵 · TMP-03 系列
进气口法兰：VG250 / ICF305 / ISO250B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：2140 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁸ Pa 量级|最大允许氩气流量：1300 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：59 kg
用途：半导体刻蚀、离子注入
岛津分子泵——TMP-2203LM TMP-03
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岛津分子泵——TMP-2203LM TMP-03
详细信息 TMP-2203LM涡轮分子泵 · TMP-03 系列 进气口法兰：VG250 / ICF305 / ISO250B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：2140 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁸ Pa 量级|最大允许氩气流量：1300 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：59 kg 用途：半导体刻蚀、离子注入
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