TMP-3804LMC
涡轮分子泵 · TMP-04 系列
进气口法兰：VG300 / ISO320B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：3800 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：2200 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：115 kg
用途：半导体刻蚀、离子注入
岛津分子泵——TMP-3804LMC TMP-04
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岛津分子泵——TMP-3804LMC TMP-04
详细信息 TMP-3804LMC涡轮分子泵 · TMP-04 系列 进气口法兰：VG300 / ISO320B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：3800 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：2200 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：115 kg 用途：半导体刻蚀、离子注入
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